產(chǎn)品中心
RS20
- 應(yīng)用領(lǐng)域：高密度多層互聯(lián)板（HDI）、高多層
適用制程：內(nèi)、外層
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技術(shù)特點
- 高解析
高產(chǎn)能、高良率
一次曝光成像
分區(qū)對位
高精度、高對準(zhǔn)
多種漲縮對位模式
可配全自動連線
設(shè)備參數(shù)
- 最小線寬/距：15/15μm
產(chǎn)能：300片/小時
最大板尺寸：24.8"*28.8"
對位精度：±10μm
層間對位精度：20μm
線寬均勻性：±10%
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