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產品中心
技術特點
- 空間光調制技術
動態(tài)掃描技術
實時聚焦
高產能、高精度
易用性強
操作簡單
設備參數
- 最小線寬：500nm
線寬均勻性：50nm
套刻精度：150nm
網格精度：25nm
拼接誤差：100nm
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